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MICRO-HITE PLUS 产品简介 ◆完全瑞士制造 ◆革命性的循环式动力控制。 ◆提供0.1um的分辨率。极高的重覆性，0.5um是市面上马达驱动类最好的。测量范围 365mm 615mm 615mm 应用范围 *520/745mm *770/995mm *1075/1300mm 最大允许误差（2+1.5L）um（Linm）** 重复性限制表面：2S=<0.5um***/孔内：2s=<1um 最大机械处置线偏离误差（正面） <6um <8um <12um 测力度 IN IN IN 电力支持（连续工作） '12h '12h '12h 气浮垫有有有数据输出 RS-232 RS-232 RS-232

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